激光干涉儀知識點科普

 激光干涉儀具有測量速度快、精度高等優點，是校準數控機床、坐標測量機等各種定位設備精度和線性指標的通用標準設備，掌握激光干涉儀的使用技術，使測量工作成倍增加。

利用激光干涉技術。

Z軸激光的快速瞄準方法。

與x、y軸準直相比較，用z軸測量激光光路的準直法更難實現。尤其是在z軸距較長的情況下，為保證激光束在反射鏡反射后返回激先探測器的強度滿足測量對光強的要求，準直激光光路一般需要較長的時間。

軸光束快速瞄準法是一種特殊的標定方法：Z軸位于低端，利用激光器殼體中部瞄準槽，將分光鏡置于Z軸上，左右移動Z軸，觀察Z軸，保證激光轉向后與Z軸平行，左右移動(可蓋在Z軸上)，確保激光打在反射鏡上。

選擇輔助工具。

盡管激光干涉儀的安裝部件比較齊全，但是在實際使用過程中還需要額外配置一些輔助工具。

①低矮云臺的研制。

有些機床工作臺高度與地面平行，在測量Z軸時，若原三角架和激光地面上的三角架因自身高度而丟失測量范圍。

②選擇磁基；

 磁干涉儀是激光干涉儀常用的輔助工具，選用時要注意，表座工作面必須有螺孔與安裝鏡組配合，將主磁吸面位于底部和側面的磁吸面分別選用兩種類型(實驗室或工廠多采用主磁吸面位于底面的表座)，在測量時，往往側吸的表座更有利于激光干涉儀的安裝。

鏡組使用靈活。

 它包括線性測量鏡、測角鏡、平面度測量儀、直線度測量儀、垂直度測量儀、激光準直儀等。實踐中，可結合部分功能不同的鏡組以滿足測量要求。例如角度測量鏡組中的反射鏡，也可以替代線性測量鏡組中的反射鏡；用激光準直鏡可縮短調整時間。

此外，各種測量鏡組也可使用各種測量鏡組，一般使用分光鏡或光學直角器來改變光路，方便測量。這樣就需要了解設備的性能，掌握測量技巧，在保證測量精度的前提下活學活用。

配備專用計算機是必要的。

激光干涉儀通常與筆記本電腦配合使用，但是如果不注意特殊問題，軟件沖突和計算機病毒就會影響測量和使用。

什么因素決定了激光干涉測量的精度？

實際上，激光干涉儀需要確定每一種測量應用能夠達到的真實精度水平，以保證測量數據的精確度和可靠性。因為激光干涉系統的測量讀數Z終值與激光波長有關，其頻率的準確性和穩定性是激光干涉測量精度的保證。另外，環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的準確度直接影響激光干涉儀Z端子的測量精度。

總之，影響激光干涉儀測量精度的因素有：①激光頻率(波長)和頻率穩定度；②軟件系統所產生的誤差；③反射鏡和圓錐棱角誤差；④溫濕度和壓力傳感器誤差；當然，在具體測量任務中，測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。

用于激光干涉測量。

激光干涉儀必須有人看管，加技術員專人送檢，他人不得隨意使用，以免降低精度。

在環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹的激光干涉儀存放。器具必須保持干燥。所有的儀器都不能壓，凍，濕，熱，熱。儀表盒不要靠近火爐或加熱管。

在使用激光干涉儀時，應小心輕放，以免產生較強的沖擊振動。腳架放置前，請檢查是否牢固。工作人員在整個操作過程中不得離開儀器，以免發生意外。

在強風、濕氣和溫度變化較大的環境中，應避免進行激光干涉測量，這將嚴重影響測試結果。