激光干涉儀采用激光干涉法測(cè)量，可快速、高精度測(cè)量，可作為校準(zhǔn)儀、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等定位設(shè)備精度和線性指標(biāo)Z的常用標(biāo)準(zhǔn)儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧，會(huì)事半功倍。

激光干涉儀使用技巧

1、Z軸激光快速瞄準(zhǔn)法。

在激光干涉線性測(cè)量中，與X.Y軸準(zhǔn)直相比，Z軸測(cè)量中激光路的準(zhǔn)直難度更大。特別是當(dāng)Z軸距長(zhǎng)距角較大時(shí)，為了保證激光束通過(guò)反射鏡反射回激先探測(cè)器，其強(qiáng)度可以滿足光強(qiáng)測(cè)量的要求，準(zhǔn)直激光路通常需要很長(zhǎng)時(shí)間。

軸光束快速矯直方法是一種具體的校準(zhǔn)方法:Z軸放置在低端，利用激光外殼中間的瞄準(zhǔn)槽將分光鏡放置在Z軸上，左右移動(dòng)Z軸，觀察激光路徑，保證激光轉(zhuǎn)向后與Z軸大致平行，左右移回Z軸，放置線性反射器和光靶(可以覆蓋在反射或分光鏡上，幫助入眼和控制光路)。

初步調(diào)整后的激光干涉系統(tǒng)將分光鏡固定在分光鏡上。通過(guò)整體調(diào)整光靶精確對(duì)準(zhǔn)后，取出分光鏡光靶，使Z軸上升，觀察激光對(duì)反射光靶的偏離程度。同時(shí)，通過(guò)尾翼調(diào)整，激光對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。如果在這個(gè)過(guò)程中，由于尾翼的調(diào)整，分光鏡覆蓋了一些激光，那么Z軸停止上升，回到起始位置，重新調(diào)整整體

2、選擇輔助工具。

雖然激光干涉儀的安裝部件相對(duì)完整，但在實(shí)際使用過(guò)程中需要額外配置一些輔助工具：

①開發(fā)低高度云臺(tái)架。

有些機(jī)器的高度基本上與地面平行，所以在測(cè)量Z軸時(shí)，如果激光器被放置在地面上，激光器被激光干擾，由于三角架本身的高度，將不可避免地失去測(cè)量范圍。

②選用磁鐵底座。

磁表底座是激光干涉儀常用的輔助工具。選擇時(shí)要注意表座工作面必須有與安裝鏡組安裝桿相匹配的螺孔。主磁吸面位于底部和側(cè)面的表座上應(yīng)選擇兩個(gè)(主磁吸面位于底部的用主磁吸面位于底部的表座)。測(cè)量時(shí)，側(cè)吸盤通常有利于激光干涉鏡組的安裝。

3、靈活使用鏡組。

激光干涉儀具有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量元件、直線度測(cè)量元件、垂直度測(cè)量鏡組、激光準(zhǔn)直輔助鏡等。在實(shí)際使用中，一些不同功能的鏡組可以相互結(jié)合，以滿足測(cè)量需要。例如，角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以取代線性測(cè)量鏡組中的反射鏡；使用激光準(zhǔn)直鏡可以縮短矯直時(shí)間。

此外，各種測(cè)量鏡組也可用于其他測(cè)量工作，通常采用分光鏡或光學(xué)直角器，以改變光路，方便測(cè)量。這就要求了解儀器的性能，掌握測(cè)量技能，在保證測(cè)量精度的前提下學(xué)習(xí)使用。

4、必須配備專用計(jì)算機(jī)。

激光干涉儀通常與筆記本電腦配套使用，但如果不注意特殊問(wèn)題，無(wú)論是軟件沖突還是計(jì)算機(jī)病毒，往往會(huì)影響測(cè)量和使用。