激光干涉儀以光波為載體，測(cè)量精度高，測(cè)量速度快，測(cè)量范圍大，其光波長(zhǎng)可直接定義為米，并可追溯到標(biāo)準(zhǔn)。所以激光干涉儀廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床，精密儀器等精密儀器的質(zhì)量控制和校準(zhǔn)，以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。

激光干涉儀的工作原理

       激光干涉儀發(fā)射單頻光束，光束進(jìn)入線性干涉鏡后，將光束分成兩束，然后反射回分光鏡，然后再次收集回激光干涉儀。如果不改變光程差，則在激光干涉儀和相消性干擾的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。如果光程差發(fā)生變化，將計(jì)算并用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異。

當(dāng)高壓連接到陽極和陰極時(shí)，激發(fā)混合氣體形成激光束，一些光通過放大激光強(qiáng)度傳輸?shù)捷敵黾す馐Ｆ渲校瑸榱诉_(dá)到平衡，激光管的長(zhǎng)度由加熱器控制，以保持激光頻率的穩(wěn)定精度±0.05ppm此時(shí)，激光器可以在輸出穩(wěn)定后進(jìn)行干涉測(cè)量。現(xiàn)在大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀器都使用氦霓虹燈(HeNe)激光管輸出633納米波長(zhǎng)。

激光干涉儀的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量和使用壽命都與激光干涉儀的性能有關(guān)。激光干涉儀的測(cè)量精度是激光干涉儀Z的基本參數(shù)，其頻率(波長(zhǎng))的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是保證。