隨著20世紀60年代初激光的出現(xiàn)，幾何量計量技術的發(fā)展步入了嶄新的時期。雙頻激光干涉儀正是利用激光具有頻率穩(wěn)定、單色性好等優(yōu)點，在幾何量計量領域發(fā)揮著越來越重要的作用。雙頻激光干涉儀具有精度高、應用范圍廣、環(huán)境適應能力強、實時動態(tài)測速高等一系列無可比擬的優(yōu)勢，成為幾何量計量活動的生力軍。相比于傳統(tǒng)的單頻激光干涉儀，現(xiàn)代雙頻激光干涉儀具有更好的抗環(huán)境干擾能力，擺脫了計量室的束縛，在越來越廣闊的工程測量領域大顯身手。因此，雙頻激光干涉的發(fā)明對計量事業(yè)的發(fā)展乃至整個科學事業(yè)的發(fā)展有著舉足輕重的作用。

雙頻激光干涉儀的發(fā)明把幾何量計量發(fā)展推向了又一個高峰，雙頻激光干涉儀是目前精度高、量程大的長度計量儀器，以其良好的性能、在很多場合，特別是在大長度與大位移的精密測量中得到廣泛應用。就長度計量而言，通常將200m以上的測量稱為距離測量（Distance Measurement），3m以下的稱為一般長度測量，3~200m之間的測量稱為大尺寸測量(Large Dimension Measurement)[1]。雙頻激光干涉儀在一般長度精密測量中都有使用。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定，既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體裝備的微定位（雙頻激光干涉儀是光刻機不可或缺的關鍵測量系統(tǒng)）和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。不僅在單純的長度計量領域，在其他工程技術領域，雙頻激光干涉儀的應用也越來越廣泛，不乏一些很有創(chuàng)見的應用。