激光干涉儀是當(dāng)今納米時(shí)代的長(zhǎng)度基準(zhǔn)，也是先進(jìn)制造業(yè)（機(jī)床、光刻機(jī)，航空、航天等）制造精度的保證。激光干涉儀的“激光”是HeNe激光器。鐳測(cè)科技研究成了“可伐-玻璃組裝式”結(jié)構(gòu)的HeNe激光器，打破了我國(guó)靠玻璃吹制HeNe激光器的歷史。這一長(zhǎng)期堅(jiān)持的研究打通了單頻氦氖激光器→雙折射雙頻激光器→雙頻激光干涉儀的全技術(shù)鏈條，批產(chǎn)，獲得了廣泛認(rèn)可。雙頻激光器和干涉儀已在北京鐳測(cè)科技有限公司批產(chǎn)，并在國(guó)內(nèi)外得到廣泛應(yīng)用。

    雙折射雙頻激光器不僅用于國(guó)產(chǎn)雙頻激光干涉儀，也用于運(yùn)行中的光刻機(jī)的年度替換。同時(shí)，提供了科研單位的科學(xué)研究。該激光器替換進(jìn)口正在服役的光刻機(jī)的原有激光器，使光刻機(jī)機(jī)臺(tái)誤差由24 nm下降到6 nm。中國(guó)計(jì)量科學(xué)院測(cè)試表明，此雙頻激光干涉儀測(cè)量70 m長(zhǎng)度誤差小于5 μm，非線性誤差小于1 nm。

來源：光電匯OESHOW    https://mp.weixin.qq.com/s/N6JePRN_Uz-oDtxX0GfNRw