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光纖式雙頻激光干涉儀干擾的原理和特點
發布時間:2021-07-19瀏覽次數:342

概述

  隨著智能制造技術的發展,檢測已經成為生產過程中越來越重要的一部分,位移檢測是檢測手段之一。一般來說,設備的檢測精度應達到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工,其檢測精度至少應小于1微米,因此位移測量系統已經成為智能制造設備的關鍵部件之一。


 目前常用的位移測量系統有光柵、容柵、磁柵、激光干涉等,其中激光干涉精度較高,是微納位移測量的較佳選擇。根據結構的不同,激光干涉儀可分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀,根據結構的不同可分為傳統的空間光傳輸和光纖激光干涉儀。


雙頻激光干涉儀干擾的原理和特點。

采用雙頻激光干預技術和光纖傳輸技術,根據激光多普勒原理,可以測量各種物理量,如位移,振動,速度,加速,變形等。


它結合了雙頻激光干涉和光纖激光兩大特點:

 

采用交流放大器,更穩定,更耐環境干擾;

 

高倍電子細分可以達到納米分辨率;

 

采用光纖傳輸,安裝方便,更容易實現多軸同步測量;

 

測量較大速度為5m/s/s;

 

輸出包括網口,USB接口,ABZ接口等。

 

以上就是小編為大家介紹的雙頻激光干涉儀全部內容,希望對大家能有所幫助。


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